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十硼烷加热气化实验思维导图

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实验步骤,实验可行性,热气华实验相关内容讲解

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思维导图大纲

十硼烷加热气化实验思维导图模板大纲

实验步骤

十硼烷加热气化

简述十硼烷的特性

加热十硼烷至气化状态

传输管路同步加热

-防止气体固化

-选择适当的加热方式

真空压力变化、温度

气体注入

采用脉冲注入形式

MFC

实验可行性和安全性问题

考虑十硼烷的气化温度范围

可行性

考虑加热和传输技术的可行性

注入方式对实验结果的预期影响

安全性问题

高温环境下的操作安全

防止气体泄露和冷凝造成的安全隐患

真空室的安全操作规范

储料罐相关问题

加热不均匀

蒸发后压力范围

温度失控

缓冲罐相关问题

压力控制不稳定

冷凝问题

安全阀相关问题

安全阀失效

安全阀误动作

温度和压力传感器问题

传感器精度下降

传感器信号故障

增加十硼烷其他应用方法

固态制备

非气化式注入

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