
实验步骤,实验可行性,热气华实验相关内容讲解
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十硼烷加热气化实验思维导图模板大纲
十硼烷加热气化
简述十硼烷的特性
加热十硼烷至气化状态
传输管路同步加热
-防止气体固化
-选择适当的加热方式
真空压力变化、温度
气体注入
采用脉冲注入形式
MFC
考虑十硼烷的气化温度范围
可行性
考虑加热和传输技术的可行性
注入方式对实验结果的预期影响
安全性问题
高温环境下的操作安全
防止气体泄露和冷凝造成的安全隐患
真空室的安全操作规范
储料罐相关问题
加热不均匀
蒸发后压力范围
温度失控
缓冲罐相关问题
压力控制不稳定
冷凝问题
安全阀相关问题
安全阀失效
安全阀误动作
温度和压力传感器问题
传感器精度下降
传感器信号故障
固态制备
非气化式注入


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