电镜使用思维导图_编号v1515486-TreeMind树图

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思维导图大纲

电镜使用链接：https://www.instrument.com.cn/news/20180425/462445.shtml 来源：仪器信息网思维导图模板大纲

加速电压选择电压的选择是电镜中各个工作条件中最重要的一个

1、样品损伤和荷电因素

选择的加速电压不能对试样产生明显的辐照损伤或者荷电，否则观察到的图像不是试样的真实形貌

对于金属等导电导热均良好的试样，可以用较高的电压进行观察，如10kV及以上

对于一些导电性不是很好但是比较稳定的试样，可以中等加速电压，如5kV左右

对一些容易损伤的样品，比如高分子材料、生物材料等，可能需要较低的电压，如2kV或以下

2、电子产额因素

单相材料

因为成分没有差别，选择电子产额最大的区间即可

混合物相材料

在有形貌衬度的同时还能有较好的成分衬度，这样的图片信息量最大，也最清晰。同样需要选择二次电子产额相差较大的区域进行拍摄。

图2.1 左图是碳和金的二次电子产额，中间图片是金颗粒在1kV下的二次电子图像，右图是200V下的二次电子图像。显然，在200V下碳和金的产额一样，所以此时拍摄的图像仅呈现出形貌上的差别，而碳和金的成分差异无论怎么调节明暗对比度也不会出现。而在1kV下，碳和金的电子产额差异达到最大，所以除了形貌衬度外，还表现出极好的成分衬度。

图2.1 金和碳在电子产额（左）及1kV（中）、200V（右）电压下的SE图像

对于一些金属材料来说，往往较高的加速电压下有相对较大的产额差异，而对于一些低原子序数试样，较低的电压往往电子产额差异更大。

图2.2 试样为碳银混合材料。左图为5kV SE图像，右图为20kV SE图像。5kV下不但能表现出比20kV更好的成分衬度，还有更好的表明细节。

图2.2 碳银混合材料在5kV（左）、20kV（右）电压下的SE图像

图2.3 试样为铜包铝导线截面，左图为5kV SE图像，右图为20kV SE图像。20kV下能够更好的将外圈的铜层和内部的铝层做更好的区分。

图2.3 铜包铝导线截面在5kV（左）、20kV（右）电压下的SE图像

对于有些本身差别很小的物相，如果能找到二次电子产额差异最大所对应的电压，也可将其区分。当然有的产额没有参考曲线，需要经过诸多尝试才能找到

图2.4 试样为掺杂半导体基底上的本征半导体薄膜，其电子产额差异在1kV达到最大，对应1kV的图像能将两层膜就行区分，而其它电压则没有太好的衬度

图2.4半导体薄膜在不同电压下的衬度对比

3、衬度的平衡

成分衬度最大时的电压不一定是观察形貌最佳的电压。

需要考虑究竟是注重形貌还是注重成分衬度，使用二次电子来进行观察，还是用背散射电子进行观察，或者用折中的办法进行观察。这都需要操作者根据电镜照片想说明的问题来进行选择。