更换Bi源思维导图
医用氧源更换流程介绍
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思维导图大纲
更换Bi源思维导图模板大纲
硬件更换
高压测试
1、Energy到30kV，Extractor到15kV；2、suppressor 2kV；3、lens source3kv；
按照Energy\Extractor\suppressor\lens source 顺序归零
加载heating值
直接拉到1.5A
1.5A到标签值之间，每分钟加载0.1A
标签值➖0.4到标签值，每两分钟加0.05A
加spectrometry，调ex让SU在500~1000V之间，check，只要在标签值±0.2之间即可。
调Bi Spectrometry mode
准备阶段
真空度小于5E-7
给analyzer通电
加载analyzer下的all purpose文件
离子源对中
LMIG->Source->Scope
ap1波形居中
拧滚轮让双峰对称
调节lens source让波形变矩形
拧法兰，让X,Y source<±10%
同样办法调ap2
正离子模式测束流
准备阶段
cycle time 100 μs
打√LMIG
调大cup电流
调节lens source&XY blanking使得cup电流最大
消除aperture 1短边的波形毛刺
width设置20%
调小lens source
测不同种类的离子束流
关掉scope
调节width使得B1+ 1PA，B3 0.35PA, B++ 0.35PA
负离子模式测束流
准备阶段
cycle time 100 μs
打√LMIG
调大cup电流
调节lens source&XY blanking使得cup电流最大
消除aperture 1短边的波形毛刺
width设置20%
调小lens source
测不同种类的离子束流
关掉scope
调节width使得B1+ 1PA，B3 0.35PA, B++ 0.35PA？
保存参数文件，改日期，选LMIG，此步完成Spectrometry测束流过程
正离子模式聚焦检查
Navigator->A grid ,点 go
调节样品台高度
Navigator->打开SI，调节SI gain以获得最佳亮度
选accept circle，通过调节样品台高度调节accept circel位置
通过调X，Y target确保A grid的SI像和CCD像一致
调lens target和X，Y stigmator来提高清晰度
负离子模式聚焦检查
Navigator->A grid ,点 go
调节样品台高度
Navigator->打开SI，调节SI gain以获得最佳亮度
选accept circle，通过调节样品台高度调节accept circel位置
通过调X，Y target确保A grid的SI像和CCD像一致
调lens target和X，Y stigmator来提高清晰度
保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，到此步完成Spectrometry模式的聚焦检查
调IMAGING FAST mode
加fast image参数文件，调EX让SU在500~1000V之间
调Lens Source，加Extractor改变量的1/10
LMIG->Source->Scope
ap1手动找中心，并调波形到标准态
ap2点击scope旁边的C自动居中，并调波形到标准态
正离子模式测束流
准备阶段
cycle time 100 μs
打√LMIG
打√DC
Navigator->A grid ,点 go
调大cup电流
先调节X，Y blanking；再调节lens source
保证cup电流＞400PA
保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，此步完成imaging fast测束流过程
正离子模式聚焦检查
Navigator->A grid ,点 go
调节样品台高度
开启SI像，调节SI gain获得合适的亮度
打开accept circle按钮，通过调节样品台高度调节accept circle位置
通过调节X，Y target来调节SI位置，让SI上的像和CCD上的像相一致
调lens target和X，Y stigmator来调节A字清晰度
保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG
调Ultimate Spectrometry
加Ultimate Spectrometry参数文件，调EX让SU在500~1000V之间
调Lens Source，加Extractor改变量的1/10
LMIG->Source->Scope
ap1手动找中心，并调波形到标准态
ap2点击scope旁边的C自动居中，并调波形到标准态
正离子模式测束流
准备阶段
cycle time 100 μs
打√LMIG
打√DC
Navigator->A grid ,点 go
调大cup电流
先调节X，Y blanking；再调节lens source
保证cup电流＞400PA
保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，此步完成imaging fast测束流过程
正离子模式聚焦检查
Navigator->A grid ,点 go
调节样品台高度
开启SI像，调节SI gain获得合适的亮度
打开accept circle按钮，通过调节样品台高度调节accept circle位置
通过调节X，Y target来调节SI位置，让SI上的像和CCD上的像相一致
调lens target和X，Y stigmator来调节A字清晰度
保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG
调Ultimate imaging
加Ultimate imaging参数文件，调EX让SU在500~1000V之间
调Lens Source，加Extractor改变量的1/10
LMIG->Source->Scope
ap1手动找中心，并调波形到标准态
ap2点击scope旁边的C自动居中，并调波形到标准态
正离子模式测束流
准备阶段
cycle time 100 μs
打√LMIG
打√DC
Navigator->A grid ,点 go
调大cup电流
先调节X，Y blanking；再调节lens source
保证50PA<cup电流<80PA
保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，此步完成imaging fast测束流过程
正离子模式聚焦检查
Navigator->A grid ,点 go
调节样品台高度
开启SI像，调节SI gain获得合适的亮度
打开accept circle按钮，通过调节样品台高度调节accept circle位置
通过调节X，Y target来调节SI位置，让SI上的像和CCD上的像相一致
调lens target和X，Y stigmator来调节A字清晰度
保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG
正离子模式测束流思维导图模板大纲
准备阶段
cycle time 100 μs
打√LMIG
调大cup电流
调节lens source&XY blanking使得cup电流最大
消除aperture 1短边的波形毛刺
width设置20%
调小lens source
测不同种类的离子束流
关掉scope
调节width使得B1+ 1PA，B3 0.35PA, B++ 0.35PA
保存参数文件，该日期
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