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更换氧源思维导图
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更换氧源操作流程
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思维导图大纲
更换氧源思维导图模板大纲
硬件更换
真空预处理
切换到O2
等待DSC-S的真空到E-7级别
打勾regulation，等待Pressure Set和DCS-S都达到E-5的级别
加载emission
0.1mA的往上加，观察每次加的时候真空度不要出现较大波动
加到1mA为止
调节束流
打√dc和√DSC-S
2keV 600na，1keV 250na，500eV 100na
手动调节Extractor，Lens source，X Source，Y Source，Stigmator Source,X Crossover,Y Crossover,Static Defletction使得DC模式测得的束流最大
如果DC束流强度还不够，此情况不正常，微调Lens crossover ，并要和公司联系确认，非必要不调节Lens crossover
Anode 在70-90V
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